【】顶立科技卧式化学气相沉积炉（沉积炭）

 化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理。

技术特征

可根据客户需求设计尺寸，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；

采用多温区独立控温，温度均匀性好；

采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

主要配置

炉门：铰链回转式/台车平移式；手动锁紧/自动锁圈锁紧      

炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC   

加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产    

真空泵和真空计：进口/国产 

人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机     

PLC：欧姆龙/西门子

控温仪表：日本岛电/英国欧陆   

热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号

记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产   

电器元件：正泰/施耐德/西门子

料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车